眾所周知，在芯片的制造過(guò)程中，光刻機(jī)是最重要且必不可少的一種設(shè)備，從成本來(lái)看，光刻機(jī)占所有芯片制造設(shè)備的22%左右。

(相關(guān)資料圖)

成本高，占比重還在其次，最重要的是，全球能夠制造光刻機(jī)的廠(chǎng)商并不多，也就那么幾家，而用于10nm以下工藝的EUV光刻機(jī)，全球只有ASML一家能造。

這問(wèn)題就嚴(yán)重了，意味著所有想生產(chǎn)10nm以下芯片的廠(chǎng)商，必須找ASML買(mǎi)光刻機(jī)，買(mǎi)不到的話(huà)，在當(dāng)前的技術(shù)條件下，就無(wú)法進(jìn)入到10nm，這才是問(wèn)題的根本。

因?yàn)榇蠹叶级脑?，我們是找ASML買(mǎi)不到EUV光刻機(jī)的，所以大家都明白，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)必須崛起，否則中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)無(wú)法崛起。

那么問(wèn)題就來(lái)了，目前國(guó)內(nèi)的光刻機(jī)水平，究竟什么樣了，與ASML相比，究竟差距有多大？

先說(shuō)說(shuō)全球的光刻機(jī)格局，目前全球光刻機(jī)市場(chǎng)基本都由荷蘭ASML、日本尼康和佳能公司完全壟斷，而國(guó)內(nèi)的上海微電子產(chǎn)的光刻機(jī)，市場(chǎng)占有率基本可以忽略，特別是在芯片制造光刻機(jī)這一塊，更多用于封測(cè)、光刻膠生產(chǎn)等領(lǐng)域。

2022年全球前道光刻機(jī)，一共出貨量約為551臺(tái)，其中ASML一共出貨了345臺(tái)，占比為63%；而佳能出貨量為176臺(tái)，占比為32%。尼康僅出貨30臺(tái)，占比約為5%。

而中國(guó)廠(chǎng)商上海微電子，沒(méi)有統(tǒng)計(jì)在內(nèi)，也就意味著遠(yuǎn)低于尼康，我們甚至基本可以認(rèn)為是0。

而7nm及以下的EUV光刻機(jī)，只有ASML能生產(chǎn)。尼康的水平是生產(chǎn)浸入式光刻機(jī)，標(biāo)稱(chēng)精度是28nm，經(jīng)多重曝光，一般也只用于14nm。

而佳能生產(chǎn)的光刻機(jī)，標(biāo)稱(chēng)精度是90nm，經(jīng)多重曝光，最多也只用到65nm左右，這就是這三大光刻機(jī)廠(chǎng)商的情況。

而國(guó)內(nèi)最牛的是上海微電子，已公開(kāi)量產(chǎn)的光刻機(jī)標(biāo)稱(chēng)精度是90nm，經(jīng)多重曝光，最多也只用到65nm，與佳能一致，但多重曝光還會(huì)導(dǎo)致良率顯著降低，導(dǎo)致成本飆升。

但之前有媒體報(bào)道稱(chēng)，上海微電子已經(jīng)在生產(chǎn)28nm的光刻機(jī)，多重曝光光后生產(chǎn)7nm芯片，預(yù)計(jì)在2021-2022年交付，但沒(méi)具體的報(bào)道，所以不能亂說(shuō)。

所以當(dāng)前國(guó)內(nèi)明面上的光刻機(jī)水平就是90nm，就算多重曝光，最多也就是65nm，考慮到ASML的DUV光刻機(jī)是不受限的， 估計(jì)沒(méi)誰(shuí)買(mǎi)90nm的，來(lái)生產(chǎn)65nm的光刻機(jī)。所以，差距真的是非常非常大。

事實(shí)上，EUV光刻機(jī)一共有10多萬(wàn)個(gè)零件，而ASML有5000多供應(yīng)商，可見(jiàn)要生產(chǎn)一臺(tái)EUV光刻機(jī)，真的不容易，但再難，這個(gè)關(guān)我們也必須沖過(guò)去。

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